Một phòng sạch bắt buộc phải có đủ không khí sạch cung cấp để làm loãng và loại bỏ bụi bẩn phát sinh trong phòng. Đối với phòng sạch đa hướng độ sạch của nó được phân loại một cách trực tiếp liên quan đến không khí cấp; càng nhiều không khí được cung cấp thì độ sạch càng cao hơn.
Đối với phòng sạch đơn hướng, cấp độ sạch phụ thuộc vào vận tốc gió cấp. Lưu lượng và vận tốc được quyết định trong giai đoạn thiết kế. Do đó việc kiểm tra thông số ban đầu so với thiết kế là cần thiết, cũng như việc kiểm tra đinh kì các thông số trong suốt quá trình hoạt động để đảm bảo chất lượng không khí đạt yêu cầu. Để đảm bảo không khí trong phòng sạch luôn di chuyển từ nơi sạch đến nơi ít sạch hơn, cần đảm bảo chênh lêch áp suất dương giữa hai khu vực.
Việc này thông thường được tiến hành khi đã đảm bảo khí cấp và lưu lượng, tức là các điều kiện về điều hòa không khí đã cân bằng.
Các công ty chuyên dụng thường tiến hành việc đo kiểm và hiệu chỉnh lưu lượng khí cấp và khí xả khi phòng sạch được khai thác. Tuy nhiên, các cách kiểm tra đơn giản khác cũng được sử dụng để xác định chất lượng không khí vẫn được duy trì tốt. Một vài loại thiết bị có thể được sử dụng để đo chất lượng không khí. Chúng thường được sử dụng cho phòng sạch thổi gió từ trên xuống:
– Sử dụng chụp thông gió cho việc đo lưu lượng
– Sử dụng máy đo gió để đo vận tốc gió.
Trong các phòng thông gió đa hướng, lưu lượng khí cấp và xả có thể được đo trong đường ống. Các công ty chuyên dụng sử dụng các thiết bị phòng sạch như ống Pi lô để làm việc này.
Ống Pi lô được lắp vào đường ống dẫn khí để đo vận tốc trong ống; sau đó có thể tính được lưu lượng khí cấp. Tuy nhiên, thường lưu lượng được đo trong phòng sạch.
Nếu không khí trong phòng được cấp qua một thiết bị lọc đầu cuối mà không qua bộ khuếch tán, thì thông số của nó sẽ được đo tại bề mặt của lọc. Ta sẽ tính lưu lượng bằng cách lấy vận tốc gió trung bình nhân với diện tích của lọc. Tuy nhiên do không khí không đồng đều khi qua lọc và tại các mép của lọc thì vận tốc gió trung rất khó xác định, do đó rất khó để đo chính xác lưu lượng của gió cấp. Khi sử dụng bộ khuếch tán khí cấp, độ không đều của lượng khí đi qua bộ khuếch tán được cải thiện, do đó thì dễ dàng đo vận tốc gió trung bình để tính chính xác lưu lượng hơn. Tương tự, những vấn đề về đọc kết quả đo cũng xảy ra ở mặt lưới xả, nhưng ngay cả khi vận tốc gió cao hơn hoặc bằng gió vào.Chụp thông gió được treo trên trần và bao kín quanh bộ khuếch tán gió cấp. Gió cấp được gom lại dễ dàng đo vận tốc gió trung bình tại miệng của chụp thông gió và lưu lượng trên một đơn vị thời gian. Phương pháp này khắc phục những vấn đề được bàn đến ở hai đoạn trước.